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LMG2A系列直线电机

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产品详情

特征

最大行程4m x 4m

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台

良好接地设计防止噪声干扰

Z向震动可达奈米等级以下

最大速度可达5m/s

标准重现精度1um或以下

位置回馈系统分辨率最低可达50nm

应用

半导体设备

自动化搬送

FPD设备

太阳能制造设备

PCB设备

水刀设备

钻石切割产业

AOI检测设备

工具机

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